| 參考價 | 面議 |
attoECS系列位移臺在提供*精度位移控制的同時，保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能，適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負載可達幾公斤，行程達到50mm，zui小步長50nm，配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能。
EcoSmart Drive系列納米精度位移臺
| attoECS系列位移臺在提供*精度位移控制的同時，保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能，適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負載可達幾公斤，行程達到50mm，zui小步長50nm，配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能。 |
+ 在厘米級的行程范圍內，達到納米級高精度位移控制 + *的機械穩(wěn)定性 + 位移驅動電壓<45V，無需高壓屏蔽 + 10nm位移精度，+/-200nm位移重復性，<0.01%精度 + 特殊材質，兼容各種光學實驗環(huán)境和超高真空環(huán)境 + 快速樣品更換裝置 |
attoECS系列位移臺部分技術參數
| 產品名稱 | ECS3030 | ECS3040 | ECS3050 | ECS3060 | ECS3070 | ESC3080 |
| 位移解碼器型號 | 光電解碼器 （/NUM) | |||||
| 適用環(huán)境 | /RT, /HV, /UHV | |||||
| 位移器尺寸（mm3） | 30x30x9.5 | 30x40x9.5 | 30x50x9.5 | 30x60x9.5 | 30x70x9.5 | 30x80x9.5 |
| zui大負載 | 90N | 120N | 150N | 180N | 210N | 240N |
| zui大速度 (45V, 5kHz) | 4.5mm/s | |||||
| 行程 | 20mm | 25mm | 30mm | 35mm | 40mm | 50mm |
| 傳感器 | 10nm位移精度，+/-200nm位移重復性，<0.01%精度 | |||||
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