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【儀器網(wǎng) 維修保養(yǎng)】氦質(zhì)譜檢漏儀是一款進(jìn)行檢漏檢測(cè)的設(shè)備，通過(guò)利用氦氣或者氫氣作示漏氣體，通過(guò)以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。在工業(yè)生產(chǎn)也實(shí)驗(yàn)研究過(guò)程中有著較廣泛的應(yīng)用。因?yàn)楹獾谋镜自肼暤?，其分子量及粘滯系?shù)較小，所以當(dāng)設(shè)備存在漏孔時(shí)，氦氣較容易通過(guò)漏孔并擴(kuò)散出去。此外，由于氦系惰性氣體，不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生額外腐蝕損壞，所以一般進(jìn)行相關(guān)檢測(cè)分析時(shí)，常用氦作示漏氣體。通過(guò)將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調(diào)節(jié)氣體分析儀到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
與其他設(shè)備儀器相同，定期對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行保養(yǎng)能夠較好地延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，保證設(shè)備的可靠性。根據(jù)網(wǎng)上資料，對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀保養(yǎng)注意事項(xiàng)進(jìn)行如下簡(jiǎn)述：
1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。
2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。
實(shí)際上，除了上述進(jìn)行日常保養(yǎng)需要注意的事項(xiàng)，還有其他一些需要注意的點(diǎn)，由于資料有限，因而無(wú)法進(jìn)行概述。具體保養(yǎng)操作，建議咨詢相關(guān)專業(yè)技術(shù)人員。
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