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激光共聚焦顯微鏡在材料領域的應用

   2019年06月04日 13:56  
  【儀器網 行業(yè)應用】光學顯微鏡是大家熟悉的實驗室儀器之一,但事實上,在實際使用中光學顯微鏡存在局限,它是一種二維的形態(tài)學工具,因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài),特別是縱向方向的形態(tài),通常一定需要使用SEM。但有些樣品使用SEM會碰到以下困難:
 
  1、樣品本身比較大,且不能做分割的器件組,雖然被觀察的部分是微小的局部,但整個樣品難以放入SEM中。
 
  2、非金屬樣品,且不適合做導電性處理。特別是一些對微小處理很敏感的樣品。
 
  3、無法測量多種尺寸數據,比如體積,面積,粗糙度等等。
 
  針對這些問題,SEM廠家在不斷推出更新的技術。激光掃描共焦顯微鏡(CF-LSM)就是一種能較為有效彌補這些問題的顯微技術。
 
  激光共聚焦顯微鏡在材料領域應用初探
 
  共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國外,主要為日本。是從80年代末期開始的,目前在日本,共聚焦激光掃描顯微鏡已經是一種被廣泛采用的技術,既用來觀察樣品表面亞微米程度(0.12微米)的三維形態(tài)和形貌,又可以測量多種微小的尺寸,諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等等。
 
  另外,它還有以下特點:
 
  1、使用方便,與一般光學相似,且全部采用計算機直觀控制。
 
  2、基本無須制樣,不損傷樣品。不需要做導電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,*不破壞樣品。
 
  3、幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描,成像,測量采樣工作。該設備目前已經為吉林大學,哈爾濱工業(yè)大學用于材料和機械加工方面的研究。

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