【儀器網(wǎng) 產(chǎn)品文庫】俄歇電子能譜簡稱AES,是一種表面科學(xué)和材料科學(xué)的分析技術(shù)。
組成
俄歇能譜儀包括電子光學(xué)系統(tǒng)、電子能量分析器、樣品安放系統(tǒng)、離子槍、超高真空系統(tǒng)。以下只介紹核心的電子光學(xué)系統(tǒng)和電子能量分析器。
俄歇電子能譜特點
1、俄歇電子的能量是靶物質(zhì)所*的,與入射電子束的能量無關(guān)。右圖是一些主要的俄歇電子能量??梢妼τ赯=3-14的元素,突出的俄歇效應(yīng)是由KLL躍遷形成的,對Z=14-40的元素是LMM躍遷,對Z=40-79的元素是MNN躍遷。大多數(shù)元素和一些化合物的俄歇電子能量可以從手冊中查到。
2、俄歇電子只能從20埃以內(nèi)的表層深度中逃逸出來,因而帶有表層物質(zhì)的信息,即對表面成份非常敏感。正因如此,俄歇電子特別適用于作表面化學(xué)成份分析。
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