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SEM-Base®VI

用于SEM的主動(dòng)式壓電陶瓷振動(dòng)

消除地面式平臺(tái)

優(yōu)勢(shì):

• 硬式裝載技術(shù)

SEM-Base VI兼容 SEM 內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng)， 從 0.6Hz 開(kāi)始主動(dòng)強(qiáng)力消減地面低頻振動(dòng)。

• 主動(dòng)慣性振動(dòng)消除

SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達(dá)到高水平的振動(dòng)衰減。

• 串行設(shè)計(jì)與壓電技術(shù)

*串行設(shè)計(jì)加上高強(qiáng)度壓電專li技術(shù)，SEM-Base VI不但達(dá)到了寬至0.6Hz-150Hz的主動(dòng)帶寬，更實(shí)現(xiàn)了的慣性主動(dòng)振動(dòng)消除，2Hz以上的振動(dòng)衰減可達(dá)90%以上。

• *集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)

SEM-Base Vi設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了ji致，簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。

注: 可選SEM-Closure，專門設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEMs的完整環(huán)境解決方案。在SEM-Closure密封隔音室內(nèi)可兼容放置SEM-Base VI與Mag-NetX，保護(hù)SEM免除振動(dòng)、磁場(chǎng)擾動(dòng)與聲波噪音的影響。

特點(diǎn)：

• STACIS專li技術(shù)
• 主動(dòng)慣性振動(dòng)消除系統(tǒng)
• 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）適合絕大多數(shù)商業(yè)SEMs
• 負(fù)載能力：408-1134 kg（900-2500 lb.）     
• 隔振效率1Hz：40-70%

隔振效率2Hz：90%

隔振效率>3Hz：90-98%

• 6個(gè)主動(dòng)自由度
• 安裝容易，調(diào)諧簡(jiǎn)單
• 兼容所有設(shè)備內(nèi)置的振動(dòng)隔離系統(tǒng)
• 電源：100-240VAC，50/60Hz，<600W
• 是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)
• CE與RoHS認(rèn)證
• *集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)
• 可安裝腳輪，輕松便攜移動(dòng)，無(wú)需搬運(yùn)
• 兼容SEM-Lift系統(tǒng)

概述：

EM-Base VI是TMC STACIS主動(dòng)壓電振動(dòng)消除產(chǎn)品系列的新一代產(chǎn)品。SEM-Base VI設(shè)計(jì)用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEMs）、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡（FIB）及小型雙光束設(shè)備。SEM-Base VI可以提供升級(jí)版的振動(dòng)隔離性能及更快更強(qiáng)勁的控制器，帶有高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI讓越來(lái)越多的實(shí)驗(yàn)室、工廠可以實(shí)現(xiàn)能夠滿足其關(guān)鍵設(shè)備所要求的地面振動(dòng)水平。

SEM-Base VI采用*串聯(lián)結(jié)構(gòu)，振動(dòng)傳感器測(cè)量的是地面振動(dòng)，不是負(fù)載振動(dòng)。這樣就確保了負(fù)載諧振將不會(huì)限制平臺(tái)的振動(dòng)隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動(dòng)傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測(cè)量亞Hz振動(dòng)時(shí)具有大的敏感度。加上TMC*的壓電致動(dòng)技術(shù)，SEM-Base VI即使在振動(dòng)情況已經(jīng)很好的地面上也可以實(shí)現(xiàn)超高水平的振動(dòng)消除。

相比于之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振動(dòng)隔離能力平均來(lái)說(shuō)增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式雙核處理器，為設(shè)備擁有者及研究者提供非常簡(jiǎn)單易于使用的圖形用戶界面，可以快速進(jìn)入系統(tǒng)并實(shí)現(xiàn)平和的操作心態(tài)。當(dāng)通過(guò)Ethernet連接時(shí)，DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實(shí)現(xiàn)SEM-Base圖形用戶界面，無(wú)需額外安裝軟件或者應(yīng)用程序。當(dāng)然用戶也可以通過(guò)控制器的板載式菜單驅(qū)動(dòng)液晶屏（LCD）直接進(jìn)行控制。

應(yīng)用案例：

STACIS® ix SEM-Base 為如下SEM/FIB提供振動(dòng)消除。FEI Helios NanoLab DualBeam SEM/FIB(左上)、 JEOL JSM-6700F掃描電鏡(右上)，日立S-3400N SEM(左下)、Field Emission掃描電子顯微鏡(右下)